磁敏傳感器是傳感器產品的一個重要組成部分,隨著我國磁敏傳感器技術的發展,其產品種類和質量將會得到進一步發展和提高,進軍汽車、民用儀表等這些量大面廣的應用領域即將實現。國產的電流傳感器、高斯計等產品日前已經開始走入國際市場,與國外產品的差距正在快速縮小。”
一、磁敏傳感器的發展特點
1.集成電路技術的應用。將硅集成電路技術應用于磁敏傳感器,制成集成磁敏傳感器。
2.InSb薄膜技術的開發成功,使得霍爾器件產能劇增,成本大幅度下降。
3.強磁體合金薄膜得到廣泛應用。各種磁阻器件出現,應用領域廣泛。
4.巨磁電阻多層薄膜的研究與開發。新器件的高靈敏度、高穩定性,引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關注。
5.非晶合金材料的應用。與基礎器件配套應用,大大改善了磁傳感器性能。
6.Ⅲ—V族半導體異質結構材料的開發和應用。通過外延技術,形成異質結構,提高磁敏器件的性能。
二、國外磁敏傳感器的現狀
1.國外磁傳感器的常見種類
就市場占有情況來看,國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發展空間。
2.外磁傳感器的代表廠商:
·霍爾元件:日本旭化成;日本東芝;美國Honeywell公司;美國Allogro公司。
·磁阻器件:日本SONY公司;荷蘭PHILIPS公司。
3.國外磁傳感器的應用情況
磁敏傳感器應用的最大特點是無接觸測量。